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  質(zhì)量流量控制器
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  網(wǎng)關(guān)、I/O模塊
 
  質(zhì)量流量控制器（MFC）  
     
  型號 8713 - 氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）  
 
     
  型號8713自2026年1月1日起不再提供。  
  如有問題，請與我們聯(lián)系。  
   
     
 
  描述  
  8713 型質(zhì)量流量控制器 (MFC) 適合在大流量范圍內(nèi)對氣體進(jìn)行質(zhì)量流量控制。直接位于氣流中的熱 MEMS 傳感器可以實現(xiàn)極高速度的響應(yīng)。一個直動式 Bürkert 比例閥作為執(zhí)行元件，確保了良好的響應(yīng)靈敏度。集成 PI 控制器，令 MFC 具備卓越的控制特性。8713 型設(shè)備可以針對兩種不同的氣體進(jìn)行校準(zhǔn)，用戶可以在兩者之間進(jìn)行切換。與上級設(shè)備的通信完全采用數(shù)字形式，這樣一來，就可以省去額外的數(shù)模轉(zhuǎn)換。8713 型質(zhì)量流量控制器適合多樣化應(yīng)用，例如燃燒器控制、熱處理、材料涂層、生物反應(yīng)堆、燃料電池技術(shù)或者試驗臺。  
     
  特性  
  « 標(biāo)稱流量范圍：0.010 lN/min 至 80 lN/min  
  « 測量精度和重復(fù)性高  
  « 調(diào)控速度特別快  
  « 通過 RS485 進(jìn)行數(shù)字通信  
  « 緊湊型版本  
     
 
 
 
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